shallow trench isolation

shallow trench isolation
Микроэлектроника: узкощелевая изоляция

Универсальный англо-русский словарь. . 2011.

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  • Lau Wai Shing — Wai Shing Lau (simplified Chinese name: 刘偉成, born July 29, 1955 in Hong Kong) is also known as Lau Wai Shing. The family name of Lau is sometimes spelled as Liu like Liu Bang (founder of the Han dynasty) or Liu Shaoqi or Liu Bocheng. This is… …   Wikipedia

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  • Halbleitertechnik — Die Halbleitertechnik definiert sich historisch und aufgrund der Verwendung der Produkte als Schlüsselkomponenten in elektrotechnischen Erzeugnissen als Teilgebiet der Elektrotechnik (speziell der Mikroelektronik). Trifft man die Zuordnung… …   Deutsch Wikipedia

  • LOCOS — LOCOS, kurz für Local Oxidation of Silicon (dt. »lokale Oxidation von Silicium«, ist in der Halbleitertechnik ein Verfahren zur elektrischen Isolation von Bauelementen (meist Transistoren). Dafür wird der Silicium Wafer an ausgewählten Stellen… …   Deutsch Wikipedia

  • Thermische Oxidation von Silizium — Die thermische Oxidation von Silizium ist in der Halbleitertechnik ein Beschichtungsverfahren, bei dem auf einem einkristallinen Siliziumsubstrat (beispielsweise einem Silizium Wafer) eine dünne Schicht aus amorphen Siliziumdioxid aufgebracht… …   Deutsch Wikipedia

  • LOCOS — LOCOS, short for LOCal Oxidation of Silicon, is a microfabrication process where silicon dioxide is formed in selected areas on a silicon wafer having the Si SiO2 interface at a lower point than the rest of the silicon surface.This technology was …   Wikipedia


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